Modh déantúsaíochta ciorcad, a chomhtháthaítear le líon an-mhór comhbhall scoite (níos mó ná 100,000) ar an slisne sileacain is ea Comhtháthú ollscála (VLSI). Ba dhul chun cinn é seo ar LSI, comhtháthú mórscála, an chéad chéim i bhforbairt na slisní sileacain, mar a mbíodh timpeall 1,000 comhbhall ar shlisne amháin.[1]

Comhtháthú ollscála
  1. Hussey, Matt (2011). "Comhtháthú ollscála". Fréamh an Eolais. Coiscéim. p. 167.